En général : exempt d'agents de traitement, de particules et de taches (selon l'inspection par lumière brillante et UV)
Exigences particulières dans les domaines μ et nano
Valeurs limites extrêmes en ce qui concerne les substances organiques résiduelles ou l'humidité résiduelle
Limites atomiques/moléculaires dans la plage des % atomiques ou nettement inférieures.

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